Die präzise Messung von Druckverhältnissen ist entscheidend für viele Hightech-Anwendungen, von der Halbleiterfertigung bis zur Oberflächenanalyse und Beschichtungstechnik. Herkömmliche Vakuummesssysteme sind jedoch wenig effizient, da sie oft mehrere großvolumige Sensoren benötigen, um den gesamten Druckbereich von Atmosphärendruck bis Hochvakuum abzudecken.

Die VACOM Vakuum Komponenten & Messtechnik GmbH aus Großlöbichau bei Jena setzt mit dem miniaturisierten Vakuumsensor „Cassini“ neue Standards. Auf der Fläche eines Daumennagels vereint der Sensor gleich drei separate physikalische Messprinzipien aus der herkömmlichen Vakuumtechnik. Der MEMS-basierte Sensorkern deckt einen sehr breiten Druckbereich vom Atmosphärendruck bis zum Hochvakuum ab und garantiert dabei eine hohe Präzision und Effizienz. Mit einer speziellen Ausleseelektronik kann der Sensor Druckflächen autark und in Echtzeit analysieren, das Messverhalten flexibel anpassen und eine konsistente Auswertung über den gesamten Druckbereich gewährleisten. Ein farbiger LED-Ring visualisiert Veränderungen im Druck und macht den Systemstatus für den Anwender auf einen Blick ersichtlich.

Die technische Grundlage liegt in der Optimierung verschiedener physikalischer Transportmechanismen, darunter Konvektion, Wärmeleitung und Strahlung. Diese Faktoren spielen eine entscheidende Rolle bei der Erfassung unterschiedlicher Druckregime.

Durch das Design und eine intelligente Steuerung der Sensorik überwindet die Neuheit die Limitierungen klassischer Technologien, beispielsweise Messungen an Übergangspunkten zwischen verschiedenen Druckbereichen. Hinzu kommt, dass „Cassini“ der erste Vakuumsensor auf dem Markt ist, der vollständig ohne PFAS-Stoffe auskommt. Zudem besteht die Möglichkeit, elektronische Komponenten wiederzuverwenden. VACOM schützt die Neuheit mit drei Patenten.

Die Marktchancen für „Cassini“ stehen gut. Erste Tests in den USA, Tschechien und Deutschland unter hochkomplexen Bedingungen bestätigen die Leistungsfähigkeit und Ressourceneffizienz des Sensors. Besonders in der Halbleiterindustrie, der Analyse- und der Beschichtungstechnik sieht VACOM viel Potenzial für die Innovation. Die Miniaturbauweise ermöglicht den Einsatz in Geräten, die mit herkömmlicher Messtechnik an räumliche und thermische Grenzen stoßen würden.